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info@huakegroup.in气柜模组Gas BOX
- 产品描述
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Gas Box（气柜模组）作为特种工艺气体输送控制的核心装置，专为晶圆生产工艺量身定制，可实现对各类特殊工艺气体的精准传输、智能分配与高效输运。该模组集成先进控制技术，能够对工艺气体的流量、压力、浓度、混配比及反应时间等参数进行精密调控，确保气体输送过程始终保持高洁净度、强耐腐蚀性与安全性，为半导体晶圆制造等高端工艺提供稳定可靠的气体供应保障。
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