分支阀箱/扩展阀箱 TB/FTB

T-BOX扩展阀箱是一种用于半导体设备的控制系统的扩展阀箱。半导体设备T-BOX扩展阀箱通常用于扩展和集成额外的控制设备和阀门，以满足半导体制造过程中的需求。FT-BOX-般用于系统扩，设置于系统末端的阀箱。

所属分类：特气&化学产品

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产品描述

在化学品供应系统中，FT - BOX和T - BOX都有各自的特点和作用，以下是它们的相关介绍：

FT - BOX

一般指分支阀箱或扩展阀箱，通常设置于系统末端，主要用于系统扩展。它的作用是将来自主管路的化学品进一步分流到更细的支路中，以满足更多不同设备或工艺对化学品的需求，就像是一个“末梢分流器”，让化学品能够精准地输送到各个需要的地方。其材质选择与所输送的化学品性质相关，对于酸碱类化学品，外壳常用PP材质，内部管件用PFA；对于有机溶剂类和腐蚀性溶剂化学品，外壳一般是SUS材质，内部管件为SUS或PFA。

T - BOX

通常指三通箱（Tee Box），主要用于当供应主管路需要连接至多个阀门分流箱（VMB）时，在主管路上开支路的连接，相当于一个管路分支的关键节点。通过T - BOX，化学品可以从主管路顺利地分流到不同的支路，从而为不同的设备或工艺提供化学品供应。例如在半导体芯片工厂中，它可以将来自化学品供应单元的化学品，分配到用于芯片表面杂质清洗、芯片图形刻蚀等工艺的机台。在材质方面，和FT - BOX类似，输送酸碱类化学品时，外壳用PP材质，内部管件用PFA；输送有机溶剂类和腐蚀性溶剂化学品时，外壳采用SUS材质，内部管件为SUS或PFA。

总体来说，FT - BOX和T - BOX都是化学品供应系统中用于管路分配的重要部件，只是在系统中所处的位置和具体的分流作用上有所不同。